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六氟化硫

发布时间: 2015-01-07  点击次数: 1502次

六氟化硫(SF6)是一种无色、无味、无毒、不易燃、不易爆的气体,具有很强的化学稳定性和热稳定性,广泛应用于电器、宇航、电子、气象、制冷、激光、、机器制造、医药研究等领域,高纯六氟化硫还在大型的集成电路制造工艺中用作蚀刻剂。
六氟化硫(SF6)是一种无色、无味、无毒、不易燃、不易爆的气体,具有很强的化学稳定性和热稳定性,广泛应用于电器、宇航、电子、气象、制冷、激光、、机器制造、医药研究等领域,高纯还在大型的集成电路制造工艺中用作蚀刻剂。

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