六氟化硫

六氟化硫（SF6）是一种无色、无味、无毒、不易燃、不易爆的气体，具有很强的化学稳定性和热稳定性，广泛应用于电器、宇航、电子、气象、制冷、激光、、机器制造、医药研究等领域，高纯六氟化硫还在大型的集成电路制造工艺中用作蚀刻剂。
六氟化硫（SF6）是一种无色、无味、无毒、不易燃、不易爆的气体，具有很强的化学稳定性和热稳定性，广泛应用于电器、宇航、电子、气象、制冷、激光、、机器制造、医药研究等领域，高纯还在大型的集成电路制造工艺中用作蚀刻剂。